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全名：半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程 [随书光盘]
简介：本书以SilvacoTCAD2012为背景，由浅入深、循序渐进地介绍了SilvacoTCAD器件仿真基本概念、Deckbuild集成环境、Tonyplot显示工具、ATHENA工艺仿真、ALTAS器件仿真、MixedMode器件电路...

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